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工业超纯水设备通常由多介质过滤器，活性碳过滤器，钠离子软化器、精密过滤器等构成预处理系统、RO反渗透主机系统、离子交换混床(EDI电除盐系统)系统等构成主要设备系统。原水箱、中间水箱、RO纯水水箱、超纯水水箱均设有液位控制系统、高低压水泵均设有高低压压力保护装置、在线水质检测控制仪表、电气采用PLC可编程控制器，真正做到了无人值守，同时在工艺选材上采用推荐和客户要求相统一的方法，使该设备与其它同类产品相比较，具有更高的性价比和设备可靠性。
工业超纯水设备的应用领域：
1、半导体材料、器件、印刷电路板和集成电路成品、半成品用超纯水；
2、超纯材料和超纯化学试剂勾兑用超纯水；
3、实验室和中试车间用超纯水；
4、汽车、家电表面抛光处理；
5、光电子产品；
6、其他高科技精微产品；
7、标准法规；
工业超纯水设备初是美国科技界为了研制超纯材料(半导体原件材料、纳米精细陶瓷材料等)应用蒸馏、去离子化、反渗透技术或其它适当的超临界精细技术生产出来的水，如今超纯水已在生物、医药、汽车等领域广泛应用。
工业超纯水设备工艺流程：
1、采用离子交换树脂制备超纯水的传统水处理方式，其基本工艺流程为：原水;沙炭过滤器精密过滤器阳床阴床混床(复床)纯水箱纯水泵后置精密过滤器用水点。
2、采用反渗透水处理设备与离子交换设备进行组合的方式，其基本工艺流程为：原水沙炭过滤器精密过滤器反渗透设备纯水箱混床(复床)超纯水箱超纯水泵后置精密过滤器用水点。
3、采用反渗透水处理设备与电去离子(EDI)设备进行搭配的的方式，这是一种制取超纯水的工艺，也是一种环保，经济，发展潜力巨大的超纯水制备工艺，其基本工艺流程为：原水沙炭过滤器精密过滤器反渗透设备纯水箱电去离子(EDI)超纯水箱超纯水泵后置精密过滤器用水点。
